Ryssland ämnar att tävla mot nederländska ASML gällande litografiutrustning med strålning i EUV-spektrumet, rapporterar ryska Cnews. Den nya ryska halvledarsatsningen leds av Russian Academy of Sciences och dess Institute of Microstructure Physics under Nikolay Chkhalo, vars mål är att framställa utrustning med våglängden 11,2 nanometer, att jämföra med ASML:s 13,5 nanometer.
Enligt Chkhalo ska utrustningen sänka produktionskostnaderna, samtidigt som den ska erbjuda ”konkurrenskraftig” prestanda jämfört med utrustning från ASML. Skulle Ryssland och den ryska vetenskapsakademien lyckas framställa en maskin kapabel att producera inte bara EUV-strålning, utan också överträffa ASML:s specifikationer med 20 procent vore det inget annat än en sensation.
Vissa tillkortakommanden jämfört med ASML:s lösningar medges däremot redan i förväg, noterar Tom’s Hardware. Den ryska ljuskällan uppges ha en effekt om 3,6 kilowatt istället för de cirka 10 kilowatt ASML producerar – vilket i sin tur innebär att varje kiselyta behöver exponeras 2,7 gånger längre. Detta, menar Chkhalo, är gott nog för småskalig produktion.
Andra utmaningar som lyfts är faktumet att utrustningen inte väntas platsa i någon form av existerande ekosystem av utrustning och tillbehör som utvecklats för ASML:s system på 13,5 nanometer. Allt ifrån optik, masker och fotoresistorer bland mycket annat måste arbetas om för att fungera med den högre upplösningen den ännu icke namngivna ryska utrustningen tar sikte på.
För Ryssland är det sistnämnda praktiskt taget inget problem, då landet saknar halvledarproduktion att tala om. Till år 2030 har landet ett uttalat mål om produktion av kretsar på 28 nanometer, och tidigare i år presenterades en inhemsk maskin kapabel till kretstillverkning i 350-nanometersklassen. Målet är givetvis att säkra tillgång till inhemskt producerad elektronik – vilket för Ryssland handlar om att minska sin beroendeställning till Kina.
Oavsett vad som blir av den nya EUV-utrustningen är den ännu i ett konceptstadium. I ett första skede ska vetenskapsakademien forska kring teknologin, för att därefter ta fram en prototyp kapabel till att processa 60 stycken kiselskivor i timmen om 200 millimeter. Denna maskin ska också driftsättas runtom i Ryssland, varefter den slutgiltiga produkten är tänkt att följa och utföra samma uppgift i samma tempo – på 300 millimeter stora skivor.
I nuläget har ingen tidslinje tillkännagivits, inte heller vilka processer den kommande utrustningen tar sikte på. En inte allt för vågad gissning från Semi14 är att rysk EUV-produktion sannolikt tar skruv närmare år 2040 än 2030 – om någonsin alls.
