Alixlabs, ett bolag baserat i Lund tillika finalist i Ny Tekniks 2022 års upplaga av 33-listan, har presenterat ännu ett framsteg med sin teknik Atomic Layer Pitch Splitting (APS) – möjligheten att klyva en bulkkiselstruktur om 40 nanometer i två delar. Kvar blir två parallella fenor som dessutom etsats med hjälp av klorgas och argon, vilket minskar antalet energikrävande litografiska steg.
Previously we have verified the process for nanowires for such different materials as gallium phosphide (GaP) and Silicon (Si), and now we have the evidence also for bulk silicon, by creating features with sizes below 10 nm.
– Dimitry Suyatin, CTO och medgrundare, Alixlabs
Bolaget har sedan tidigare demonstrerat och validerat processen för användning i galliumfosfid och rent kisel – men når nu framsteg även i vanligt bulkkisel, där strukturerna som framställts begåvats med mer eller mindre vertikala väggar. I korthet hjälper processen till att skala bort en litografisk exponering i fall där receptet normalt kräver två steg, oavsett om det gäller traditionell eller EUV-litografi. Detta utgör sedan grunden för fenan i en FinFET-transistor.
Till Elektroniktidningen sade Jonas Sundqvist, medgrundare och VD vid Alixlabs, under 2021 att bolagets mål är att kommersialisera sin teknik för användning vid tillverkning på 2 nanometer. Passande nog är TSMC:s N2 också en helt ny teknik som klipper släktbanden till FinFET-baserade N3 för att istället gå över transistorer av typen gate-all-around (GAAFET).
Där TSMC internt kallar den kommande transistortypen nanosheet har Samsung med sin 3-nanometersprocess 3GAE redan tagit klivet till GAAFET. Även här bör Alixlabs process ha goda förutsättningar att skapa strukturen för transistorgrinden. Nämnvärt är också att kanalerna i grinden framställs genom etsning, snarare än via litografiska processer.
We will continue the introduction of this breakthrough technology into wafer-scale semiconductor manufacturing and have already started the process transfer to a 300 mm Pilot-fab.
– Jonas Sundqvist, VD och medgrundare Alixlabs
Jonas Sundqvist har tidigare uttryckt hopp om att finna sin teknik i kommersialiserad tillverkning med start på 2 nanometer. Nästa anhalt är att bevisa processens gångbarhet på 300 millimeter stora kiselplattor, wafers. Hur det går lär Semi14 ha anledning att återkomma till.
